微电子创新实验 平台建设方案

微电子创新实验平台建设方案

泰克/吉时利在半导体产业流程中的位置

目前高校微电子课程体系

专业课程内容

微电子实验室现状

老师学生反应的问题

实验设备老旧，损坏率高，内容抽象不易理解

建立微电子创新实验平台的目的

弥合高校教学与产业之间的差异

设备方法老旧

课程体系落后 

缺少产业内容

激发学生学习兴趣，提升学生综合工程能力

描述产业背景，激发学习兴趣

解决复杂工程问题

了解行业测试规范

实验平台智能化管理，提高效率

网络化、智能化的实验室管理

大数据收集和改善

已经建立的微电子实验室

一、微电子专业基础实验内容的升级

建立以通用仪表为核心的微电子综合实验平台，对接产业操作方式，提升学生动手能力

搭建以通用仪表为核心的综合微电子实验平台

提高测试精度，精确表征待测件特性

使用标准仪器，标准样片，以及与产业一致的测试方法，对接现代半导体生产、工艺、研发的标准作业流程

学习经典测试原理和测试方法，掌握小信号的测试、连接、误差分析方法

测试原理清晰，实验内容与理论课程相结合，按照行业测试规范提供数据并计算测试结果

学习阅读常见器件手册，根据指标设计测试方案，培养学生自主思考，解决实际工程实践问题能力

二、集成电路专业创新实验平台的搭建

建立光电、数字、模拟、混合信号、射频等多种集成电路测试平台

学习集成电路设计，掌握各种类型集成电路测试验证方法

使用标准测试仪器搭建实验平台，以产业通用的测试手段，实现多种类型集成电路的功能验证

熟练使用混合信号示波器，信号源，源表，射频仪表等先进测试仪器仪表

为微电子行业培养工程型人才，熟悉和掌握数字、模拟、射频信号测试方法，了解行业发展前沿技术

实验软件

提供多种软件可供实验教学选择

参数设置与实测结果

实测结果 ： IB-Vce / IC-VBE

MOS器件静态特性测试分析

软件功能