EPS400

探针台为一个用来测量电信号的工具，利用针座和显微镜来达到探针的动作，将电流或电压信号传递到仪器端进行测量，得到需要的数据及测试结果。

EPS400是专用的4吋探针台解决方案，由溪谷科技专家团队设计，国外先进生产工艺制作，适合需要在短的时间内精确对半导体元器件及材料、晶圆片进行IV/CV测试的用户使用。结合数字源表或半导体器件分析仪可作为实验室的器件分析测试平台。 

EPS400 探针台为保护样片测量周期内高质量的接触，通过非常稳定的系统平台设计，完美的振动隔离方案，能够让用户取得想要的测量精度。 工业标准探针座经过优化光学和无反向间隙X-Y移动，接触分离驱动达到2μm重复性，相对于半自动探针台探针座摆放更加精密。Z轴微调升降1cm给用户提供了极大的方便；高质量的三同轴信号线缆保证测试特性电流达到fA级别；低噪声的载片台可提供加热选件，让器件测试更加容易。 

该探针台设计具有可升级和扩展性，例如可升级阻抗测量（配合阻抗分析仪），电容测试可达fF级别。保护用户的一次性投资。 

规格： 

4吋镀金Chuck，中心真空吸孔1mm，便于吸附小样品;并有三个吸附档位，便于大样品平整稳定吸附

卡盘x-y 方向线性移动行程102mm x 102mm，最小移动距离1µm，配置大轮调节把手

Z向升降行程10mm，0-1快速升降，便于快速离针操作

 θ角 0°- 360 °，千分尺微调

U型固定台盘，卡盘平整度5 µm

精密针座，磁性吸附，线性移动精度1um，配置GGB精密探针

数字显示系统，直观便捷

高速高清相机（1920*1080像素），可调变焦镜头(0.7-4.5倍)，8寸LCD显示器（分辨率1024*768）

配置三同轴低漏电线缆和接头，直连精密吉时利源表

无油静音真空泵，小巧便携

底座尺寸(450mm长 x 320mm宽 x 50mm高)

配置：

型号                 描述

EPS400                  4英寸手动分析探针台

EPS-ACCS-SC      显微镜（30X -135X）

EPS-ACCS-PS      探针座

EPS-ACCS-FX      探针夹具

EPS-ACCS-VP      真空泵（进口，静音）

EPS-ACCS-DP      直流探针10支

EPS-ACCS-SUIT  （其他可选附件，如CCD显示系统等）