2000-RES

                  四探针法测量半导体电阻率方案

                                            泰克 TSP-2000-RES 电池测试方案

系统背景

电阻率是决定半导体材料电学特性的重要参数，为了表征工艺质量以及材料的掺杂情况，需要测试材料的电阻率。半导体材料电阻率测试方法有很多种，其中四探针法具有设备简单、操作方便、测量精度高以及对样品形状无严格要求的特点。目前检测半导体材料电阻率，尤其对于薄膜样品来说，四探针是最常用的方法。

四探针技术要求使用四根探针等间距的接触到材料表面。在外边两根探针之间输出电流的同时，测试中间两根探针的电压差。最后，电阻率通过样品的几何参数，输出的电流和测到的电压值来计算得出。

溪谷科技开发的四探针法测量半导体电阻率测试方案，使用美国吉时利公司开发的高精度源测量单元（SMU），既可以在输出电流时测试电压，也可以在输出电压时测试电流，。输出电流范围从皮安级到安培级可控，测量电压分辨率高达微伏级。支持四线开尔文模式，因此适用于四探针测试，可以简化测试连接，得到准确的测试结果。

                                                                不同材料的电阻率特性

方案特点

系统提供上位机软件，内置电阻率计算公式，符合国标硅单晶电阻率测试标准，测试结束后直接从电脑端读取计算结果，方便后续数据的处理分析。

提供正向/反向电流换向测试，可以通过电流换向消除热电势误差影响，提高测量精度值。

四探针头采用碳化钨材质，间距1毫米，探针位置精确稳定。采用悬臂式结构，探针具有压力行程。针对不同材料的待测件，提供多种不同间距，不同针尖直径的针头选项。

探针台具备粗/细两级高度调整，细微调整时，高度分辨率高达2微米，精密控制探针头与被测物之间的距离，防止针头对被测物的损害。

载物盘表面采用绝缘特氟龙涂层，降低漏电流造成的测试误差。

                                                     高品质四探针头，提供多种针尖直径

                                                   粗细两级针臂高度调节，分辨率高达2um

软件功能

输出电流并测试电压，电阻，电阻率，电导率，薄层电阻等，记录数据，并根据测试结果绘制曲线。

软件在 Windows 7/8/10 平台下使用，测试方法符合GB/T 1551/1552等国家测试标准。

提供多种修正参数帮助提高电阻率测试精度。

配合吉时利 2450/2460/2461 高精度源表使用，确保测试精度和一致性。

系统结构

系统主要由吉时利源表（SMU）、四探针台和上位机软件组成。四探针可以通过前面板香蕉头或后面板排线接口接到源表上。

系统指标

电阻率测试范围：0.001Ω⋅cm ~ 100MΩ⋅cm

探针头压力合力：S型悬臂式弹簧，合力 6 ~ 10 N

绝缘电阻：500V下 > 1GΩ

系统误差：< 2%（<1Ω⋅cm时，误差小于0.5%）

探针头间距：1mm , 1.27mm , 1.59mm可选，使用红宝石套轴，探针游移率 < 0.2%

针尖压痕直径：25um ~ 450um 不同规格可选

通信接口：LAN/USB/GPIB

探针台尺寸：240mm x 160mm x 280mm

系统配置

四探针探针台、四探针针头、源表端四线香蕉头连接线、四探针测试软件。